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流量控制器 HAD-D07-7B
發(fā)布時(shí)間：2014-03-19瀏覽次數(shù)：1547返回列表
流量控制器 型號(hào)；HAD-D07-7B
HAD-D07-7B型 流量控制器
儀器簡介：
流量控制器（MFC）用于對(duì)氣體的流量進(jìn)行地測量和控制。用于電子設(shè)備、真空鍍膜、 石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。
參數(shù)：
|
滿量程流量范圍（N2） |
5SCCM～10SLM |
|
控制范圍 |
2～100％F.S. |
|
閥類型（及閥初始狀態(tài)） |
電磁調(diào)節(jié)閥（常閉） |
|
度 |
±1.5％F.S. |
|
線性 |
±0.5～1.5％F.S. |
|
重復(fù)度 |
±0.2％F.S. |
|
響應(yīng)時(shí)間 |
≤7sec |
|
工作溫度范圍 |
5～45℃ |
|
工作壓差 |
0.1～0.5MPa |
|
耐壓 |
3MPa |
|
漏氣率 |
1×10-8atm.cc/sec He |
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密封材料 |
氟橡膠（或氯丁橡膠） |
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電插頭形式 |
DB15 pin（Female） |
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接頭選擇 |
VCR 1/4”或φ4hose、φ6hose |
|
重量 |
1.1Kg |
