儀器主要技術指標：

1．  測量范圍：電阻率10^-3—10³Ω-cm，分辯率為 10^-4Ω-cm ，可擴展到10⁵Ω-cm

  方塊電阻10^-2—10⁴Ω/□，分辯率為10^-3Ω/□，可擴展到10⁶Ω/□

薄層金屬電阻10^-4—10⁵Ω，分辯率為10^-4Ω

2.可測半導體材料尺寸：直徑Φ15—Φ125mm；  長度：150mm(可擴展500mm)

     3.測量方式：軸向、斷面均可

4．數(shù)字電壓表：（1）量程：20mV(分辯率：10μV)、200mV、2V

             （2）測量誤差：±0.3%讀數(shù)±1字

             （3）輸入阻抗：大于10⁸Ω

             （4）顯示3 1/2 位紅色發(fā)光二管（LED）數(shù)字顯示

                  0---1999具有性、過載、小數(shù)點、單位自動顯示

5．恒流源：由交流供電，具有良好的防泄漏隔離功能

（1）       直流電流：0—100mA連續(xù)可調(diào)

（2）       量程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA

（3）       分辯率：10nA、0.1μA、1μA、10μA、0.1mA

（4）       電流誤差：±0.3%讀數(shù)±2字

6．電性能模擬考核誤差：<±0.3%符合ASTM指標

7．測試探頭：（1）探針機械游移率：± 0.3% 符合ASTM 指標

8．電源：交流220V±10%   50HZ或60HZ  功率消耗< 30W

9．電氣箱外形尺寸：119×440×320mm