1、 主要技術(shù)指標(biāo):

電源：220V交流

可測晶片直徑（大）Ф100mm,方形230×220mm

恒流源：電流量程為0.01～1mA連續(xù)可調(diào)，誤差≦±0.5%。

數(shù)字電壓表：量程：0.1～200mV,大分辨率：100μV

電阻率顯示：三位半數(shù)字顯示：小數(shù)點(diǎn)、性、過載、自動(dòng)顯示0.01-199.99歐姆。厘米

輸入抗阻：0.2mV和2mV量程：＞108Ω

測量精度：±0.1。

大電阻測量誤差（按JJG508-87進(jìn)行）：0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±5%讀數(shù)±2個(gè)字。

重?fù)綑z測誤差（JJG508-87進(jìn)行）：1Ω≤±1%、0.5Ω≤±0.5%、0.1Ω≤±0.1%

測量環(huán)境：溫度23±2℃，相對濕度≤65%

2、操作程序：

  1、先連好電源，打開后面板電源開關(guān)，電源指示燈亮，表示待機(jī)完畢。

  2、校準(zhǔn)設(shè)備：厚度小于3.98mm取與要備測試硅材料厚度相同的硅材料標(biāo)準(zhǔn)樣塊校準(zhǔn)電阻率測試儀，測試厚度大于3.98mm的硅材料可取厚度大于3.98mm的任一標(biāo)準(zhǔn)樣塊校準(zhǔn)電阻率測試儀

  3、測試：用四探針接觸硅材料，以探針壓下三分之二為準(zhǔn)，待儀器顯示數(shù)字穩(wěn)定即可，

  4校驗(yàn)：在測試過程中要求2小時(shí)用標(biāo)準(zhǔn)樣塊校準(zhǔn)一次設(shè)備，

3、 針組件;維護(hù)及注意事項(xiàng):

  1、一般情況下,除了信號傳輸線的斷裂引起的故障外, 針的維護(hù)主要包括針頭的更換和針頭的清理清潔工作

  2、維護(hù)后的安裝及維護(hù)過程中,必須注意安裝過程中的排線位置,按綠紅黃黑（1234）位置排列。