型號(hào):YH35-RZKY-2000 真空度測試儀（器材）

真空度測試儀（器材）
真空度測試儀（器材）
真空度測試儀（器材） 型號(hào):YH35-RZKY-2000

庫號(hào)：M25257   查看hh

真空度測試儀是真空滅弧室的真空度的鑒定設(shè)備。它以單片計(jì)算機(jī)為主控單元，測試過程完實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。該儀器在原理上改變了外同類產(chǎn)品采用電流峰值做標(biāo)定的方法，而采用離子電荷來做標(biāo)定。這樣，在物理原理上有好的性，而且，地抑制了測試過程中脈沖電源的干擾，使測試穩(wěn)定。
該儀器采用兩次采樣的方法扣除由于環(huán)境因素產(chǎn)生的漏電電流，并且在測量過程中考慮了完漏氣的真空滅弧室的判別，真正做到了對安裝于整機(jī)上的真空滅弧室的計(jì)量。目前，該儀器中已存有26條真空滅弧室的測量標(biāo)準(zhǔn)曲線，涵蓋了外大多數(shù)管型。
1、基于電離電荷的采樣技術(shù)
ZKY2000型真空度測試儀均采用基于電離電荷的采樣技術(shù)。我廠在磁控放電的研究中發(fā)現(xiàn)：在外激勵(lì)電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料一定時(shí),真空滅弧室里的真空度與電離的電荷量有非常的對應(yīng)關(guān)系,而與電離電流的峰值僅有概率上的相關(guān)性。因此，我廠了基于電離電荷的采樣技術(shù)，顯著提高了真空滅弧室的真空度計(jì)量的性。
2、漏電電流的處理
對處于分?jǐn)酄顟B(tài)的真空滅弧室兩端加高壓時(shí)，會(huì)有數(shù)值不等的幾個(gè)微安的漏電電流，此漏電電流即使是同型號(hào)的真空滅弧室也有較大的個(gè)體差異。尤其是對于裝在整機(jī)上的真空滅弧室，由于其周邊的緣支撐件也有漏電，這些漏電的總和有大的不穩(wěn)定性和不可預(yù)測性，并且在數(shù)值上與10E-4Pa數(shù)量級(jí)的真空滅弧室的電離電流相當(dāng)。我們采用兩次起動(dòng)高壓的方法，扣除了漏電電流，了無論是裝于整機(jī)上還是待裝的真空滅弧室的真空計(jì)量度。
技術(shù)參數(shù)
1、測量范圍：1*10-5～1*10-1pa
2、測量誤差：l*l0-4～1*l0-1pa中誤差<5%
3、測量分辨率：10-5pa
4、允許環(huán)溫：O℃～55℃
5、空氣濕度：<85%RH
6、電  源：AC220士10%
7、外型尺寸：430x300X235mm