摘要：平面平晶測(cè)量工作面的平面度，它的面形誤差是如何計(jì)算的，下面小編詳細(xì)介紹。

　　、平面平晶測(cè)量工作面的平面度

　　平面平晶用于檢定量塊的研合性和平面度以儀器和量具的測(cè)量面、工作面的平面度，亦可用于檢定的平面零件。平面平晶：特別適用于計(jì)量單位、實(shí)驗(yàn)室作為標(biāo)準(zhǔn)平面和樣板。

　　第二、平面平晶的平面度偏差值范圍

　　1.直徑為30至100- 1級(jí)平晶0.035m

　　2.直徑為100至300mm I級(jí)平晶0.055m

　　3.更大尺寸平面平晶平面度偏差允許值，根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)。

　　4.平面平晶工作面的局部偏差允許值為:0.03 5 m

　　5.平面平晶測(cè)量工作應(yīng)在室溫20℃士3C條件下保持?jǐn)?shù)小時(shí)后進(jìn)行。

　　第三、平面平晶的具體參數(shù)

　　1.每組平行平晶共四塊，分四個(gè)尺寸系列組。

　　2.測(cè)量面上平面度偏差：<0.1UM。

　　3.平行度局部偏差： >0.03UM。

　　4.測(cè)量面平行度誤差：組1系列允許差值：0.06UM。

　　5.組2、3系列允許差值：0.08UM。

　　6.組4系列允許差值：0.1UM。

　　第四、用干涉條紋來計(jì)算平晶的面形誤差

　　如果要定量計(jì)算，一般好是用移相干涉法，可以得到每一點(diǎn)的相對(duì)高度，從而得到整個(gè)面的面形。如果只有一幅干涉圖，就只能傾斜平晶或者參考鏡使得干涉條紋變成密集的直線組，然后用傅里葉變換法求解。如果只是定性的看一看面形好壞則比較簡單了，如果條紋都是直條紋，說明面形是好的，如果條紋彎的就說明面形不好，彎的越厲害面形越差。