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硅烷純度分析氦離子氣相色譜儀

上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司
會(huì)員指數(shù): 企業(yè)認(rèn)證:

價(jià)格:電議

所在地:上海

型號(hào):

更新時(shí)間:2011-12-01

瀏覽次數(shù):3960

公司地址:上海市邯鄲路100號(hào)54乙

李建浩 (先生)  

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品簡(jiǎn)介 PDHID對(duì)硅烷中氣體雜質(zhì)檢測(cè)限(ppb) H2 O2+Ar N2 CO CH4 CO2 C2 C3 SimHn 50

公司簡(jiǎn)介

上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司系上海市高新技術(shù)企業(yè),是一家集氣相色譜儀的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售于一體的高科技企業(yè),公司致力于氣相色譜分析整體解決方案的應(yīng)用研究,是國(guó)內(nèi)第一家專業(yè)從事氣相色譜分析方法研究和開發(fā)的企業(yè)。


公司致力于產(chǎn)品的創(chuàng)新,先后獲得多項(xiàng)國(guó)家專利,并有多個(gè)產(chǎn)品榮獲上海市高新技術(shù)成果轉(zhuǎn)化認(rèn)證、上海市重點(diǎn)新產(chǎn)品等稱號(hào),部分產(chǎn)品已經(jīng)獲得上海市創(chuàng)新資金和國(guó)家創(chuàng)新基金立項(xiàng)扶持。公司已經(jīng)在同行業(yè)中率先通過并認(rèn)真實(shí)施了ISO9001:2000國(guó)際質(zhì)量管理體系認(rèn)證,確立了“誠(chéng)信為本、質(zhì)量先行;科學(xué)管理、追求卓越”的質(zhì)量方針。2008年榮獲由上海市科學(xué)技術(shù)協(xié)會(huì)、上海市工商業(yè)聯(lián)合會(huì)和上海市科技創(chuàng)業(yè)中心聯(lián)合組織評(píng)選的第二屆上海市最具活力科技企業(yè)。


公司在復(fù)旦大學(xué)科技園擁有650平方米的標(biāo)準(zhǔn)化生產(chǎn)基地,具備完善的管理制度以及一流的生產(chǎn)環(huán)境,擁有獨(dú)立的金工車間、裝配車間、調(diào)試車間、研發(fā)中心,年產(chǎn)各型號(hào)氣相色譜儀達(dá)500多臺(tái)套,產(chǎn)品覆蓋了試驗(yàn)室色譜、便攜式色譜和在線色譜等整個(gè)氣相色譜行業(yè)的所有產(chǎn)品。新推出的GC-9560系列氣相色譜儀實(shí)現(xiàn)了全計(jì)算機(jī)反控技術(shù),采用大屏LCD幕液晶顯示,中文菜單的操作模式,設(shè)計(jì)新穎,操作簡(jiǎn)便,深受廣大色譜用戶的青睞。公司推出的GC-9560-HD變壓器油專用色譜儀、GC-9560-HS車用汽油分析專用色譜儀、GC-9560-HQ燃?xì)夥治鰧S蒙V儀、GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀、GC-9560-HT室內(nèi)環(huán)境質(zhì)量檢測(cè)專用色譜儀、GC-9760變壓器油專用微型色譜儀等十余種產(chǎn)品已成功應(yīng)用到全國(guó)二十多個(gè)省市自治區(qū)和直轄市的電力監(jiān)督、石油化工、質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)、環(huán)境監(jiān)測(cè)、科研院所、大專院校、衛(wèi)生防疫、釀造、糧油等諸多行業(yè)。


公司秉承“以質(zhì)量求生存、以信譽(yù)求發(fā)展”的經(jīng)營(yíng)理念,五十余人組成的團(tuán)隊(duì)成員均擁有大學(xué)學(xué)歷,憑借在氣相色譜分析領(lǐng)域的技術(shù)優(yōu)勢(shì)和孜孜不倦的追求技術(shù)進(jìn)步的精神,華愛色譜將為您提供最優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和最前沿的技術(shù)方案,實(shí)現(xiàn)華愛應(yīng)用創(chuàng)造價(jià)值的創(chuàng)業(yè)理念。


ISO9001:2000質(zhì)量管理體系:

上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司于2008年全面通過ISO9001:2000國(guó)際質(zhì)量管理體系認(rèn)證,確立了公司的質(zhì)量方針和質(zhì)量目標(biāo),為了切實(shí)履行ISO9001:2000國(guó)際質(zhì)量管理體系的規(guī)定,提高公司產(chǎn)品的質(zhì)量管理水平,公司制定了一套完善的質(zhì)量管理體系文件,包括《文件控制程序》、《記錄控制程序》、《管理評(píng)審控制程序》、《培訓(xùn)控制程序》、《與顧客有關(guān)的控制程序》、《內(nèi)部審核控制程序》、《不合格品控制程序》、《改進(jìn)控制程序》”等八個(gè)程序文件,同時(shí)做好各個(gè)環(huán)節(jié)的記錄,不斷提高公司的產(chǎn)品質(zhì)量和服務(wù)水平


公司質(zhì)量方針:

誠(chéng)信為本、質(zhì)量先行;科學(xué)管理、追求卓越


 

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產(chǎn)品說明

產(chǎn)品簡(jiǎn)介
PDHID對(duì)硅烷中氣體雜質(zhì)檢測(cè)限(ppb)
H2 O2+Ar N2 CO CH4 CO2 C2 C3 SimHn
50 50 50 50 20 20 20 20 50
產(chǎn)品詳細(xì)信息

電子工業(yè)氣體:

高純度硅烷氣體雜質(zhì)組份的檢測(cè)

一:應(yīng)用領(lǐng)域:
硅烷在大規(guī)模集成電路(LSI)、超大規(guī)模集成電路(VLSI)和半導(dǎo)體器件制造中,用于氣相外延生長(zhǎng)、化學(xué)氣相淀積等工藝(工序)。
1. 外延(生長(zhǎng))混合氣 在半導(dǎo)體工業(yè)中,在仔細(xì)選擇的襯底上選用化學(xué)氣相淀積的方法,生長(zhǎng)一層或多層的材料所用的氣體叫做外延氣體。常用的硅外延氣體有二氯二氫硅、四氯化硅和硅烷等。主要用于外延硅淀積,多晶硅淀積,氧化硅膜淀積,氮化硅膜淀積,太陽能電池和其他光感受器的非晶硅膜淀積等。外延生長(zhǎng)是一種單晶材料淀積并生長(zhǎng)在襯底表面上的過程。
2. 化學(xué)氣體淀積(CVD)用混合氣 CVD是利用揮發(fā)性化合物,通過氣相化學(xué)反應(yīng)沉積某種單質(zhì)或化合物的一種方法,即應(yīng)用氣相化學(xué)反應(yīng)的一種成膜的方法。依據(jù)成膜種類,使用的化學(xué)氣相淀積(CVD)氣體也不同。

二:硅烷中微量雜質(zhì)的分析一直是色譜分析的難點(diǎn)。
目前多數(shù)采用的熱導(dǎo)檢測(cè)器由于靈敏度有限,很難測(cè)定5ppm以下的雜質(zhì);火焰離子化檢測(cè)器和氧化鋯檢測(cè)器是選擇性的檢測(cè)器,只能分析少數(shù)幾種氣體雜質(zhì),均不能很好的滿足硅烷氣體分析的基本要求。
PDHID檢測(cè)器(脈沖放電氦離子檢測(cè)器)是一種靈敏度極高的通用型檢測(cè)器,對(duì)幾乎所有無機(jī)和有機(jī)化合物均有很高的響應(yīng),特別適合氣體的分析,是能夠檢測(cè)至ng/g(ppb)級(jí)的檢測(cè)器。


本頁產(chǎn)品地址:http://www.bhxfsw.cn/sell/show-243.html
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