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過程質(zhì)譜分析儀伯東公司代理

伯東企業(yè)（上海）有限公司

會(huì)員指數(shù)：

企業(yè)認(rèn)證：

價(jià)格：電議

所在地：上海

型號：

更新時(shí)間：2022-08-24

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公司地址：上海浦東新區(qū)新金橋路1888號36號樓7樓702室

13918837267 葉小姐(女士) 銷售工程師

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產(chǎn)品簡介

上海伯東代理日本 Atonarp 過程質(zhì)譜分析儀 Aston? 專為半導(dǎo)體生產(chǎn)而設(shè)計(jì), 作為一個(gè)強(qiáng)大的平臺, Aston? 可以取代多種傳統(tǒng)工具, 提供半導(dǎo)體制程中 ALD, CVD, 蝕刻, ALE 和腔室在大批量生產(chǎn)中的氣體偵測分析, 實(shí)現(xiàn)尾氣在線監(jiān)控, 診斷并在一系列應(yīng)用中提供前所未有的控制水平, 適用于光刻, 電介質(zhì)和導(dǎo)電蝕刻及沉積, 腔室清潔,

公司簡介

伯東企業(yè)（上海）有限公司專業(yè)代理各國知名真空產(chǎn)品位于中國上海浦東外高橋保稅區(qū)的伯東企業(yè)（上海）有限公司創(chuàng)建于1995年12月，是日本伯東株式會(huì)社獨(dú)資設(shè)立的外商投資企業(yè)，公司注冊資金為200萬美元，到目前為止公司從業(yè)員工有400多人。
伯東企業(yè)（上海）有限公司 (www.hakuto-vacuum.cn）專業(yè)銷售及維修德國Pfeiffer單雙級旋片泵，干泵，羅茨泵，分子泵；應(yīng)用于各種條件下的真空測量(真空計(jì), 真空規(guī)管)；檢漏儀，質(zhì)譜儀，真空系統(tǒng)等等, 維修技術(shù)力量雄厚，保證 100 % 擁有標(biāo)準(zhǔn)的德國Pfeiffer原廠測試設(shè)備及調(diào)整工具和德國Pfeiffer專業(yè)培訓(xùn)工程師，多年來致力于真空系統(tǒng)的安裝、調(diào)試、維修、拆機(jī)、保養(yǎng)等，具有優(yōu)良的專業(yè)技能和服務(wù)意識，并獲得原廠授權(quán)維修資質(zhì)證書。利用 Pfeiffer 進(jìn)口檢測設(shè)備對維修后的產(chǎn)品做全方位性能測試。另外公司還代理美國Brooks CTI Cryopump 冷凝泵/低溫泵, Polycold 冷凍機(jī)和美國KRI 離子源，HVA 高真空閥門。
公司一直堅(jiān)持品質(zhì)一、信譽(yù)至上的原則，為廣大客戶提供了高品質(zhì)的產(chǎn)品以及良好的售后服務(wù)。到目前為止已先后通過了美國UL安全認(rèn)證、ISO9001－2000質(zhì)量體系認(rèn)證、ISO14001－1996環(huán)境體系認(rèn)證。公司將在今后的發(fā)展中秉承以人為本，不斷開拓進(jìn)取的精神，為滿足客戶的需求努力向?qū)I(yè)化、優(yōu)質(zhì)化、集團(tuán)化發(fā)展。

展開

產(chǎn)品說明

價(jià)格貨期電議
Atonarp 質(zhì)譜分析儀 Aston? 半導(dǎo)體 CVD / ALD 應(yīng)用
上海伯東代理日本 Atonarp 過程質(zhì)譜分析儀 Aston? 專為半導(dǎo)體生產(chǎn)而設(shè)計(jì), 作為一個(gè)強(qiáng)大的平臺, Aston? 可以取代多種傳統(tǒng)工具, 提供半導(dǎo)體制程中 ALD, CVD, 蝕刻, ALE 和腔室在大批量生產(chǎn)中的氣體偵測分析, 實(shí)現(xiàn)尾氣在線監(jiān)控, 診斷并在一系列應(yīng)用中提供前所未有的控制水平, 適用于光刻, 電介質(zhì)和導(dǎo)電蝕刻及沉積, 腔室清潔, 腔室匹配和消解.

Aston? 質(zhì)譜分析儀耐受腐蝕性氣體和氣化污染物冷凝液, 能夠在半導(dǎo)體生產(chǎn)遇到的惡劣工況下可靠運(yùn)行, 與傳統(tǒng)質(zhì)量分析儀相比, 使用 Aston? 的維修間隔更長. 它包括自清潔功能, 可消除由于某些工藝中存在的冷凝物沉積而導(dǎo)致的污垢積累.

Aston? 質(zhì)譜分析儀典型應(yīng)用: 保護(hù) CVD 工藝免受干泵故障的影響
真空泵是半導(dǎo)體加工廠中應(yīng)用最廣泛的設(shè)備之一. 它們對各種化學(xué)氣相沉積工藝至關(guān)重要, 這些工藝在真空下運(yùn)行, 以確保在較低的加工溫度下獲得均勻, 保形的沉積涂層. 干泵通常是惰性且可靠的, 但在苛刻的半導(dǎo)體制造工藝中進(jìn)行泵送時(shí), 干泵可能會(huì)出現(xiàn)意外故障.

災(zāi)難性故障
電介質(zhì)沉積冷凝液和苛刻的工藝氣體 (如NF3) 可能會(huì)導(dǎo)致性能下降或突然失效模式, 包括沉積物突然吸入, 排氣堵塞, 導(dǎo)致泵卡住的沉積以及泵部件的腐蝕性退化. 泵故障通常會(huì)對 10個(gè)甚至 100個(gè)在制品晶圓造成不可修復(fù)的損壞. 此外, 工具停機(jī)和清理可能會(huì)導(dǎo)致大量開支和收入損失.
CVD 過程中受到污染的干泵

CVD 工藝過程中, 已污染的干泵

上海伯東 Aston? 質(zhì)譜分析儀提供解決方案
通過在故障前, 提前更換或使干泵離線, 可以減輕災(zāi)難性的真空損失, 從而提高生產(chǎn)線產(chǎn)量.
數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)干泵故障預(yù)測. 通過測量進(jìn)入 (進(jìn)氣) 和排出 (排氣) 干泵的氣體的分子類型和合格性 (分壓), 可以模擬破壞性腐蝕或沉積物堆積. 僅氣體壓力和體積僅部分指示氣流的腐蝕性或堵塞性. 至關(guān)重要的是流經(jīng)干泵的氣體成分. Aston? 質(zhì)譜分析儀通過對干泵暴露在氣體濃度下的情況進(jìn)行建模, 并將模型與實(shí)際泵故障相關(guān)聯(lián), 可以以高置信度預(yù)測干泵的預(yù)期運(yùn)行壽命.

在惡劣的 CVD 環(huán)境中, Aston? 利用可操作的數(shù)據(jù)預(yù)測和預(yù)防因 PV-CVD 干泵引起的災(zāi)難性故障, 能夠?qū)ζ茐男愿g或沉積進(jìn)行預(yù)測建模, 優(yōu)化氮?dú)獯祾叱杀?
適用場景: 多個(gè)腔室連接到1個(gè)干泵, 高濃度的電介質(zhì)會(huì)導(dǎo)致災(zāi)難性的泵故障 (一次損失 10-100 片的晶圓)

Aston CVD 典型應(yīng)用: Dry pump 干泵排氣在線監(jiān)測,診斷

Aston CVD 典型應(yīng)用: Dry pump 干泵排氣在線監(jiān)測,診斷

通過使用上海伯東 Atonarp 過程控制質(zhì)譜儀 Aston? 可以提高半導(dǎo)體制造工藝的產(chǎn)量, 吞吐量和效率, 此款質(zhì)譜儀可以在新工藝腔室的組裝過程中進(jìn)行安裝, 也可將其加裝到已運(yùn)行的現(xiàn)有腔室, 可在短時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)晶圓更高產(chǎn)量!

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上海伯東 : 羅先生                               臺灣伯東 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322                 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86                    M: +886-939-653-958
                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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