UP10M工業(yè)用超高純氣體純化器

UP10M工業(yè)用超高純氣體純化器采用活性金屬為化學(xué)吸附劑，當(dāng)原料氣通過活性金屬純化床時，氣體中O 2，H2O，N2，CO，CO2，CH4等雜質(zhì)氣體與活性金屬發(fā)生化學(xué)吸附反應(yīng)，純化器系統(tǒng)管路連接全部采用 Swagelok 全自動軌道焊機焊接，漏率低于 10－9 Pa；關(guān)鍵部件焊接、組裝、生產(chǎn)均在千級超凈環(huán)境中進射流沖蝕試驗機便于在各種條件

      億誠恒達科技有限公司，是一家專門代理經(jīng)銷進口科學(xué)儀器、測試測量設(shè)備的高科技企業(yè)，所經(jīng)營的產(chǎn)品涵蓋材料科學(xué)、化學(xué)分析、綠色能源、半導(dǎo)體及微電子科學(xué)等領(lǐng)域。公司本著“誠信、務(wù)實、品質(zhì)、服務(wù)”的經(jīng)營理念，已經(jīng)為國內(nèi)許多用戶提供了先進的儀器設(shè)備，專業(yè)的技術(shù)咨詢和完善的售后服務(wù)。

公司主要代理產(chǎn)品有：

公司主營：氣體純化器，儲氫材料PCT測試儀，電化學(xué)工作站，恒電位儀，多通道電化學(xué)工作站，旋轉(zhuǎn)圓盤環(huán)盤電極RDE，石英晶體微天平QCM，掃描探針顯微鏡，原子力顯微鏡AFM，CMP化學(xué)機械拋光設(shè)備，摩擦磨損試驗機，三維形貌儀，輪廓儀，臺階儀，疲勞試驗機，材料試驗機，扭轉(zhuǎn)彎曲試驗機，扭矩測試儀等。

北京億誠恒達科技有限公司，位于北京海淀中關(guān)村核心區(qū)域，是一家專門代理經(jīng)銷進口科學(xué)儀器、測試測量設(shè)備的高科技企業(yè)，所經(jīng)營的產(chǎn)品涵蓋材料科學(xué)、化學(xué)分析、綠色能源、半導(dǎo)體及微電子科學(xué)等領(lǐng)域。公司本著“誠信、務(wù)實、品質(zhì)、服務(wù)”的經(jīng)營理念，竭誠為國內(nèi)廣大用戶提供先進的儀器設(shè)備，專業(yè)的技術(shù)咨詢和完善的售后服務(wù)。

公司擁有國際貿(mào)易和商務(wù)物流管理的專業(yè)人才，可提供代理進出口、代辦免稅手續(xù)、代辦報關(guān)、運輸、保險、商檢等服務(wù)。也可提供國際貿(mào)易等方面商務(wù)咨詢服務(wù)。

北京億誠恒達科技有限公司愿與客戶攜手，共創(chuàng)美好未來！

材料試驗機，疲勞試驗機，沖擊試驗機，電化學(xué)工作站，恒電位/恒電流儀，石英晶體微天平，三維形貌儀，輪廓儀，原子力顯微鏡（AFM），掃描探針顯微鏡（SPM），摩擦磨損試驗機，瓶蓋扭矩測量儀，軸承扭矩測量儀，高頻疲勞試驗機。

超高純氣體純化技術(shù)是有色金屬研究總院“十三五”重點產(chǎn)業(yè)化方向。在“十二五”期間軍工項目科研成果基礎(chǔ)上研發(fā)的氣體純化材料，具有處理量大、去除雜質(zhì)種類多、吸附深度大、使用壽命長等優(yōu)點，并以此為核心技術(shù)開發(fā)出多個型號的惰性氣體、氫氣和氮氣等超高純氣體純化裝置。同時，有研總院自身具備不斷創(chuàng)新的研發(fā)能力，成套的純化材料生產(chǎn)、純化器組裝技術(shù)，以及完善的純化器性能測試條件，可根據(jù)用戶需求設(shè)計完整解決方案、定制非標(biāo)產(chǎn)品，并提供各項性能檢測服務(wù)，目前產(chǎn)品已應(yīng)用于科學(xué)院理化所、核工業(yè)集團、西南化工研究設(shè)計院、北京師范大學(xué)、北京航空航天大學(xué)、北京科技大學(xué)、有色金屬材料檢測中心，哈爾濱師范大學(xué)等單位獲得應(yīng)用。

UP10M工業(yè)用超高純氣體純化器采用活性金屬為化學(xué)吸附劑，當(dāng)原料氣通過活性金屬純化床時，氣體中O ₂，H₂O，N₂，CO，CO₂，CH₄等雜質(zhì)氣體與活性金屬發(fā)生化學(xué)吸附反應(yīng)，根據(jù)原料氣純度不同，一次純化后出口氣體純度即達到 7N-8N，可實現(xiàn)無人值守全自動運行，并具有實時監(jiān)測、故障報警和反饋等功能。為保證產(chǎn)品質(zhì)量，純化器系統(tǒng)管路連接全部采用Swagelok 全自動軌道焊機焊接，漏率低于 10^－9 Pa；關(guān)鍵部件焊接、組裝、生產(chǎn)均在千級超凈環(huán)境中進射流沖蝕試驗機便于在各種條件下測定的磨損率。磨損率可 以用來確定在給定操作條件的佳材料。它也可以被用來預(yù)測使用壽命和壽命周期成本。

UP系列氣體純化器

委托上海正帆科技公司對 GRINM-UP1L 氬氣純化器性能檢測結(jié)果

 

氣體類型	H2	O2/Ar	N2	CH4	CO	CO2	H2O	單位
原料氣	0.074	<0.01	0.248	<0.01	<0.01	<0.01	未測試	ppm
純化后	<0.01	<0.01	<0.01	<0.01	<0.01	<0.01	<0.033	ppm

 

部分用于現(xiàn)場照片：

山西中升鋼廠光譜儀配套UP10M使用現(xiàn)場，分析用氣體純度達到光譜儀檢測所需的的綠色。

          北京科技大學(xué)CVD設(shè)備用的多臺UP1L氬氣純化器

  

西南化工研究院定制 20MPa/30Nm³ 氬氣純化器

           搭載氫氣純化的電解水制氫/在線純化系統(tǒng)，用于人造鉆石生產(chǎn)高純氫場合

 

UP10M工業(yè)用超高純氣體純化器產(chǎn)品參數(shù)：

l  原料氣純度要求：≥99.999%，He/Ar/H₂ /N₂

l  產(chǎn)品氣純度：≥99.99999%

l  產(chǎn)品氣雜質(zhì)含量：

H₂O ≤5ppb

O₂ ≤10ppb

N₂ ≤10ppb（原料氣非 N₂ ）

H₂ ≤10ppb（原料氣非 H₂ ）

CO ≤10ppb

CO₂ ≤10ppb

CH₄ ≤10ppb

NMHC ≤10ppb

l  大工作流量：≤10Nm³ /h，可定制2-30Nm³ /h

l  閥門：EP 級氣動隔膜閥

l  內(nèi)置顆粒過濾器：2 微米

l  顯示屏：組態(tài)控制軟件，觸摸屏工業(yè)計算機控制

l  大工作壓力：2.0MPa，氬氣可定制20兆帕高壓

l  出入口氣體壓差：0.2MPa

l  進出氣接口：1/4″VCR

l  純化柱及管路：EP級316不銹鋼

l  管路連接：Swagelok 自動軌道焊接

l  電源電壓及功率：220V-380V，10-20kw

l  產(chǎn)品外形尺寸：500×700×1600mm

 

氣體純化器是集成電路、LED、太陽能板、光纖、燃料電池等制造工藝中必不可少的重要裝備，并可有效提高離子濺射、薄膜生長、焊接、配氣等多項技術(shù)的工藝性能。UP10M 工業(yè)用超高純氣體純化器系列主要用于提供工業(yè)生產(chǎn)、分析測試中的超高純度工藝氣、保護氣等，也是氣體配制行業(yè)必不可少的關(guān)鍵設(shè)備之一。

氣體種類	產(chǎn)品用途	應(yīng)用領(lǐng)域
He	稀釋氣純化	半導(dǎo)體制造業(yè)中光刻、干刻、化學(xué)氣相沉積工藝中混合氣
Ar	等離子體氣體、載氣純化	半導(dǎo)體制造業(yè)中干刻蝕、離子注入等 工藝中等離子體氣體，直讀光譜儀載氣
N2	稀釋氣、檢漏氣純化	半導(dǎo)體制造業(yè)中稀釋氧化工藝、氣體濃度調(diào)節(jié)、檢漏氣體
H2	還原氣、反應(yīng)氣純化	IC、LED 等制造業(yè)中外延工藝和擴散工藝氣體

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