aixDBLI雙光束激光干涉儀

我們?yōu)槟闾峁┎牧媳碚鳒y量的一系列產(chǎn)品：

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一表征：壓電材料d33測量儀
1、ZJ-3型壓電測量儀

2、ZJ-4型d33測量儀

3、ZJ-5型積層壓電測試儀

4、ZJ-6型靜壓電d33/d31/d15測量儀

5、ZJ-7型高溫壓電測試儀

★壓電極化裝置

1、PZT-JH10/4壓電極化裝置（10KV以下壓電陶瓷同時極化1-4片）

2、PZT-JH10/8壓電極化裝置（10KV以下壓電陶瓷同時極化1-8片）

3、PZT-JH20/8高壓電極化裝置（20KV以下壓電陶瓷同時極化1-8片）

4、PZT-FJH20  /3高壓真空，空氣極化裝置（20KV以下壓電陶瓷及壓電薄膜1-3片試樣）

★ 壓電制樣裝置

1、ZJ-D33-YP15壓電陶瓷壓片機（壓力范圍: 0--15T，0-24T，0-30T，0-40T2

2、ZJ-D33-SYP30電動型壓電陶瓷壓片機（壓力范圍: 0--15T，0-24T，0-30T，0-40T）

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第二表征 鐵電材料測量系統(tǒng)及電滯回線測量系統(tǒng)

1、ZT-4C型綜合鐵電測量系統(tǒng)

2、JKZT-10A鐵電材料綜合參數(shù)測試儀

3、JKGT-G300高溫鐵電材料測量系統(tǒng)

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第三表征 熱電材料分析測量系統(tǒng)及塞貝克系數(shù)測試儀

1、BKTEM-Dx熱電性能分析系統(tǒng)

2、BKTEM-Dx熱電器件性能分析系統(tǒng)

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第四表征 介電材料測試系統(tǒng)

1、 常溫介電測量系統(tǒng)，常溫介電材料測試儀

2、 高溫介電測量系統(tǒng)，高溫介電材料測試裝置

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第四表征磁性材料測試系統(tǒng)

雙光束激光干涉儀 aixDBLI
(Double Beam Laser Interferometer)

雙光束激光干涉儀專門用于壓電薄膜的蝴蝶曲線和縱向壓電系數(shù)d33的測試。
這是適合于從小尺寸薄膜到8英寸晶圓表征的雙光束激光干涉儀。
半自動的系統(tǒng)用于8"晶圓上的MEMS器件的壓電性和電性相關性能的測試。
大量樣品測試的重復精度可達2%以上。

測試功能：
機電大信號應變、極化、壓電系數(shù)、小信號介電常數(shù)。
疲勞和電性及機械性能可靠性。

樣品測試：
極化曲線和位移曲線。
小信號電容及壓電系數(shù)。

技術參數(shù)：
分辨率： ≤1 pm（X晶向的石英）
測量范圍：5pm- +/- 25nm
波長：632.8nm
位移/應力測試：>50Hz，最小1Hz分辨率，100mV到10V（可選到200V）
壓電d33系數(shù)：
  基電壓100mV到10V（1mHz到1Hz），可選到200V
  小信號100mV到10V（1kHz到5kHz）
C-V測試：
  基電壓100mV到10V（1mHz到1Hz），可選到200V
小信號100mV到10V（1kHz到5kHz）