成都真空設(shè)備廠家 surpass大口徑干法刻蝕機裝備 大口徑 高均勻性特殊微納結(jié)構(gòu) 基片刻蝕 可定制

surpass大口徑干法刻蝕裝備

成都漢普升科技有限公司，成立于2015年11月16日，致力于電真空、核級裝備、人工晶體材料及薄膜制備設(shè)備的技術(shù)提升，在服務(wù)領(lǐng)域深耕細(xì)作，具有較深的技術(shù)沉積。
公司成立以來，秉承“超越極限，邁向卓越”的核心價值觀，在自己所擅長領(lǐng)域為客戶提供優(yōu)良的產(chǎn)品和技術(shù)解決方案，公司注重產(chǎn)品和運營模式創(chuàng)新，我們堅信：唯有創(chuàng)新方能給用戶增值，公司已與多家科研院所、高等院校及企事業(yè)單位進行橫向合作，形成了科研級、工業(yè)級、軍品級產(chǎn)品體系，已為客戶設(shè)計制造了多套專用設(shè)備和儀器，獲得了用戶廣泛贊譽。

●Surpass系列 干法刻蝕機，特別適合于大口徑、高均勻性和有特殊微納結(jié)構(gòu)的基片刻蝕，刻蝕尺寸可達(dá)φ2500mm，通過高密度等離子體及離子濃度修正系統(tǒng)，可達(dá)到基片有效刻蝕區(qū)域內(nèi)均勻性較高的技術(shù)指標(biāo)，滿足大口徑基片刻蝕的需求。

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