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上海伯東超高真空磁控濺鍍?cè)O(shè)備 UHV Sputter

伯東企業(yè)（上海）有限公司

會(huì)員指數(shù)：

企業(yè)認(rèn)證：

價(jià)格：電議

所在地：上海

型號(hào)：

更新時(shí)間：2022-12-09

瀏覽次數(shù)：985

公司地址：上海浦東新區(qū)新金橋路1888號(hào)36號(hào)樓7樓702室

13918837267 葉小姐(女士) 銷售工程師

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

上海伯東代理超高真空磁控濺鍍?cè)O(shè)備 UHV Sputter 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體, 納米科技, 太陽(yáng)能電池,科研等行業(yè), 氧化物, 氮化物和金屬材料的研究等.

公司簡(jiǎn)介

伯東企業(yè)（上海）有限公司專業(yè)代理各國(guó)知名真空產(chǎn)品位于中國(guó)上海浦東外高橋保稅區(qū)的伯東企業(yè)（上海）有限公司創(chuàng)建于1995年12月，是日本伯東株式會(huì)社獨(dú)資設(shè)立的外商投資企業(yè)，公司注冊(cè)資金為200萬(wàn)美元，到目前為止公司從業(yè)員工有400多人。
伯東企業(yè)（上海）有限公司 (www.hakuto-vacuum.cn）專業(yè)銷售及維修德國(guó)Pfeiffer單雙級(jí)旋片泵，干泵，羅茨泵，分子泵；應(yīng)用于各種條件下的真空測(cè)量(真空計(jì), 真空規(guī)管)；檢漏儀，質(zhì)譜儀，真空系統(tǒng)等等, 維修技術(shù)力量雄厚，保證 100 % 擁有標(biāo)準(zhǔn)的德國(guó)Pfeiffer原廠測(cè)試設(shè)備及調(diào)整工具和德國(guó)Pfeiffer專業(yè)培訓(xùn)工程師，多年來(lái)致力于真空系統(tǒng)的安裝、調(diào)試、維修、拆機(jī)、保養(yǎng)等，具有優(yōu)良的專業(yè)技能和服務(wù)意識(shí)，并獲得原廠授權(quán)維修資質(zhì)證書。利用 Pfeiffer 進(jìn)口檢測(cè)設(shè)備對(duì)維修后的產(chǎn)品做全方位性能測(cè)試。另外公司還代理美國(guó)Brooks CTI Cryopump 冷凝泵/低溫泵, Polycold 冷凍機(jī)和美國(guó)KRI 離子源，HVA 高真空閥門。
公司一直堅(jiān)持品質(zhì)一、信譽(yù)至上的原則，為廣大客戶提供了高品質(zhì)的產(chǎn)品以及良好的售后服務(wù)。到目前為止已先后通過了美國(guó)UL安全認(rèn)證、ISO9001－2000質(zhì)量體系認(rèn)證、ISO14001－1996環(huán)境體系認(rèn)證。公司將在今后的發(fā)展中秉承以人為本，不斷開拓進(jìn)取的精神，為滿足客戶的需求努力向?qū)I(yè)化、優(yōu)質(zhì)化、集團(tuán)化發(fā)展。

展開

產(chǎn)品說(shuō)明

超高真空磁控濺鍍?cè)O(shè)備 UHV Sputter
超高真空環(huán)境的特征為其真空壓力低于 10^-8至 10^-12托, 超高真空環(huán)境對(duì)于科學(xué)研究非常重要, 因?qū)嶒?yàn)通常要求在整個(gè)過程中, 表面應(yīng)保持無(wú)污染狀態(tài)并可使用較低能量的電子和離子的實(shí)驗(yàn)技術(shù)使用, 而不會(huì)受到氣相散射的干擾并可以在這樣超高真空環(huán)境下使用濺鍍系統(tǒng)以提供高質(zhì)量的薄膜.
上海伯東代理超高真空磁控濺鍍?cè)O(shè)備 UHV Sputter 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體, 納米科技, 太陽(yáng)能電池,科研等行業(yè), 氧化物, 氮化物和金屬材料的研究等.
上海伯東超高真空磁控濺鍍?cè)O(shè)備配置和優(yōu)點(diǎn)
客制化基板尺寸, 最大直徑可達(dá)12寸晶圓
薄膜均勻度小于±3％
磁控濺鍍?cè)?(最多8個(gè)源), 具有多種可選的靶材尺寸
具有順序操作或共沉積的多個(gè)濺鍍?cè)?br /> 射頻, 直流或脈沖直流, 分別用于非導(dǎo)電與導(dǎo)電靶材
精準(zhǔn)流量控制器 (最多4條氣體管線)
基板可加熱到 1000°C
基材到靶材之間距為可調(diào)節(jié)的
每個(gè)濺鍍?cè)春突寰惭b遮板

超高真空磁控濺鍍?cè)O(shè)備 UHV Sputter

上海伯東代理超高真空磁控濺鍍?cè)O(shè)備針對(duì)超高真空和高溫加熱設(shè)計(jì)的基板旋轉(zhuǎn)鍍膜機(jī)構(gòu), 使用陶瓷培林旋轉(zhuǎn), 并在內(nèi)部做水冷, 來(lái)保護(hù)機(jī)構(gòu)以確保長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)的穩(wěn)定.

超高真空磁控濺鍍?cè)O(shè)備 UHV Sputter

磁控濺鍍?cè)O(shè)備基本參數(shù)

系統(tǒng)類型	Real 超高真空	超高真空	高真空	緊湊型高真空
極限真空	5X10^-10Torr	5X10^-9Torr	3X10^-7Torr	5X10^-7Torr
腔室密封	全部 CF(烘烤)	一些密封圈(烘烤)	全部密封圈	全部密封圈
電子槍	3-4, 2-3 英寸	3-4, 2-4 英寸	3-4, 2-4 英寸	3-4, 2-3 英寸
電源	DC / DC pulse / RF	DC / DC pulse / RF	DC / DC pulse / RF	DC / DC pulse / RF
Load-lock	標(biāo)準(zhǔn)(HV)	標(biāo)準(zhǔn)(HV)	標(biāo)準(zhǔn)(HV)/可選	標(biāo)準(zhǔn)(HV)/可選
基板	4-6 英寸加熱至 800°C或水冷	4-8 英寸加熱至 800°C或水冷	4-8 英寸加熱至 800°C	4-6 英寸加熱至 800°C
真空泵	低溫泵	低溫泵 / 分子泵	分子泵	分子泵
監(jiān)控	真空規(guī)和Baratron	真空規(guī)和Baratron	真空規(guī)和Baratron	真空規(guī)和Baratron
工藝控制	部分 / 3位 /手動(dòng)閘閥	部分 / 3位 /手動(dòng)閘閥	部分 / 3位 /手動(dòng)閘閥	部分 / 3位 /手動(dòng)閘閥
氣體	氬氣, 氮?dú)? 氧氣(load-lock可選)	氬氣, 氮?dú)? 氧氣(load-lock可選)	氬氣, 氮?dú)? 氧氣	氬氣, 氮?dú)? 氧氣
射頻偏壓清潔	300W RF(清潔和蝕刻)	300W RF(清潔和蝕刻)	可選	可選
離子源	100 KRi 離子源	100 KRi 離子源	可選	可選
薄膜	鈦氮化鈮NbTiN, 鈮 Nb, 鈀Pd等	鈦氮化鈮NbTiN, 鈮 Nb, 鈀Pd等	二氧化硅 SiO2, 氮化硅 Si3N4, 氧化鋁Al2O3 等	二氧化硅 SiO2, 氮化硅 Si3N4, 氧化鋁Al2O3 等

磁控濺鍍?cè)O(shè)備 Sputter

腔體
客制化的腔體尺寸取決于基板尺寸和其應(yīng)用
腔體為使用金屬密封圈并可烘烤至 150 oC
具有顯示功能的全量程真空計(jì)和用于壓力控制的 Baratron 真空計(jì)
腔體的極限真空度約10^-10 Torr
選件
可以與傳送腔, 機(jī)械手臂和手套箱整合在一起
結(jié)合離子源, 熱蒸發(fā)源, 電子束...
基板可用射頻或直流偏壓
膜厚監(jiān)測(cè)儀
射頻等離子清潔用于基材
OES, RGA 或制程監(jiān)控的額外備用端口
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體類, 納米科技
產(chǎn)品質(zhì)量控制和質(zhì)量檢查
氧化物, 氮化物和金屬材料的研究
太陽(yáng)能電池
光學(xué)研究, 材料研究

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上海伯東 : 羅先生                               臺(tái)灣伯東 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322                 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86                    M: +886-939-653-958
                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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