NEE-4000（A）全自動電子束蒸發(fā)系統(tǒng)

NEE-4000（A）全自動電子束蒸發(fā)系統(tǒng)概述：NANO-MASTER NEE-4000電子束蒸發(fā)系統(tǒng)為雙腔體的配置，其中樣品臺位于主腔體內(nèi)，二級腔體則用于安置電子束源。這種在兩個腔體之間帶有門閥的配置可以作為預(yù)真空鎖，使得電子束源腔體保持真空的情況下，實(shí)現(xiàn)基片通過主腔體放入基片到樣平臺(或夾具)上或從中取出。

那諾-馬斯特中國有限公司成立于2015年4月，是服務(wù)大中華區(qū)(包含中國大陸，香港，臺灣和澳門)的客戶，同時我們在中國大陸設(shè)有專門的服務(wù)辦公室，提供銷售和售后技術(shù)服務(wù)。 那諾-馬斯特中國的主要產(chǎn)品包括薄膜沉積設(shè)備、薄膜生長設(shè)備、干法刻蝕設(shè)備、兆聲濕法清洗設(shè)備及太空模擬測試設(shè)備等等。Nano-Master的前身是那諾-馬斯特美國，該公司是法國那諾-馬斯特有限公司于1992年在美國所創(chuàng)立的全資子公司，是一家的缺陷檢測和高速鍍層測量的計量公司。自從1993年開始Birol Kuyel博士全面接管那諾-馬斯特美國并正式名。 自2001年Nano-Master開始設(shè)計開發(fā)薄膜應(yīng)用方面的設(shè)備，正式面世的系統(tǒng)依次是磁控濺射、PECVD、晶圓/掩模版清洗系統(tǒng)…。應(yīng)用領(lǐng)域涵蓋了半導(dǎo)體、MEMS、光電子學(xué)、納米技術(shù)和光伏等。我們的設(shè)備包含用于二氧化硅、氮化硅、類金剛石和CNT沉積的PECVD，用于InGaN、AlGaN生長的PA-MOCVD，濺射鍍膜(反應(yīng)濺、共濺 、組合濺)，熱蒸發(fā)和電子束蒸發(fā)，離子束刻蝕和反應(yīng)離子刻蝕，原子層沉積，兆聲清洗以及光刻膠剝離等。三十年左右的時間內(nèi)Nano-Master已經(jīng)發(fā)展成為全球薄膜設(shè)備的供應(yīng)商，已售出的幾百套設(shè)備分布于20多個不同國家的大學(xué)、研發(fā)中心和國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。 我們聘用技術(shù)熟練并具有良好教育背景的設(shè)計和制造工程師、應(yīng)用工程師、服務(wù)工程師、技術(shù)支持人員，使得公司擁有的服務(wù)團(tuán)隊。作為薄膜工藝的設(shè)備提供商，我們的目標(biāo)是提供高品質(zhì)的服務(wù)并始終維持高水平的集成度。

NEE-4000（A）全自動電子束蒸發(fā)系統(tǒng)概述：NANO-MASTER NEE-4000電子束蒸發(fā)系統(tǒng)為雙腔體的配置，其中樣品臺位于主腔體內(nèi)，二級腔體則用于安置電子束源。這種在兩個腔體之間帶有門閥的配置可以作為預(yù)真空鎖，使得電子束源腔體保持真空的情況下，實(shí)現(xiàn)基片通過主腔體放入基片到樣平臺(或夾具)上或從中取出。在需要自動裝/卸載基片時，他可以通過第三方的預(yù)真空鎖來實(shí)現(xiàn)，這可以設(shè)置于立方體的左側(cè)。通過PC計算機(jī)控制，系統(tǒng)可以提供多電子束源的共蒸發(fā)能力，以及對組分或組分梯度進(jìn)行編程的能力。

NEE-4000（A）全自動電子束蒸發(fā)系統(tǒng)特點(diǎn)：

• 順序蒸發(fā)或共蒸發(fā)

• 雙電子束源

• 多凹槽電子槍

• 可編程電子束掃描

• 10KW開關(guān)電源

• 渦輪分子泵，極限真空5x10-7Torr

• 自動上下載片

• 材料和襯墊更換非常方便

• 晶振式膜厚監(jiān)測儀

• 通過LabView軟件實(shí)現(xiàn)PC計算機(jī)控制

• 菜單驅(qū)動，四級訪問密碼保護(hù)

• 完全的安全聯(lián)鎖

  
  

NEE-4000（A）全自動電子束蒸發(fā)系統(tǒng)產(chǎn)品型號：

• NEE-3500：計算機(jī)全自動控制的緊湊型獨(dú)立系統(tǒng)

• NEE-4000：計算機(jī)全自動控制的獨(dú)立系統(tǒng)

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