NMC-4000 MOVPE設(shè)備

NMC-4000 MOVPE設(shè)備概述：MOVPE，也就是大名鼎鼎的MOCVD(金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積), 針對(duì)InGaN及AlGaN沉積工藝所研發(fā)的臺(tái)式等離子輔助金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PA-MOCVD),該系統(tǒng)具有加熱的氣體管路、5個(gè)鼓泡裝置(各帶獨(dú)立的冷卻槽)、950度樣品臺(tái)三個(gè)氣體環(huán)、PC全自動(dòng)控制、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2

那諾-馬斯特中國(guó)有限公司成立于2015年4月，是服務(wù)大中華區(qū)(包含中國(guó)大陸，香港，臺(tái)灣和澳門(mén))的客戶，同時(shí)我們?cè)谥袊?guó)大陸設(shè)有專門(mén)的服務(wù)辦公室，提供銷(xiāo)售和售后技術(shù)服務(wù)。 那諾-馬斯特中國(guó)的主要產(chǎn)品包括薄膜沉積設(shè)備、薄膜生長(zhǎng)設(shè)備、干法刻蝕設(shè)備、兆聲濕法清洗設(shè)備及太空模擬測(cè)試設(shè)備等等。Nano-Master的前身是那諾-馬斯特美國(guó)，該公司是法國(guó)那諾-馬斯特有限公司于1992年在美國(guó)所創(chuàng)立的全資子公司，是一家的缺陷檢測(cè)和高速鍍層測(cè)量的計(jì)量公司。自從1993年開(kāi)始Birol Kuyel博士全面接管那諾-馬斯特美國(guó)并正式名。 自2001年Nano-Master開(kāi)始設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)薄膜應(yīng)用方面的設(shè)備，正式面世的系統(tǒng)依次是磁控濺射、PECVD、晶圓/掩模版清洗系統(tǒng)…。應(yīng)用領(lǐng)域涵蓋了半導(dǎo)體、MEMS、光電子學(xué)、納米技術(shù)和光伏等。我們的設(shè)備包含用于二氧化硅、氮化硅、類(lèi)金剛石和CNT沉積的PECVD，用于InGaN、AlGaN生長(zhǎng)的PA-MOCVD，濺射鍍膜(反應(yīng)濺、共濺 、組合濺)，熱蒸發(fā)和電子束蒸發(fā)，離子束刻蝕和反應(yīng)離子刻蝕，原子層沉積，兆聲清洗以及光刻膠剝離等。三十年左右的時(shí)間內(nèi)Nano-Master已經(jīng)發(fā)展成為全球薄膜設(shè)備的供應(yīng)商，已售出的幾百套設(shè)備分布于20多個(gè)不同國(guó)家的大學(xué)、研發(fā)中心和國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。 我們聘用技術(shù)熟練并具有良好教育背景的設(shè)計(jì)和制造工程師、應(yīng)用工程師、服務(wù)工程師、技術(shù)支持人員，使得公司擁有的服務(wù)團(tuán)隊(duì)。作為薄膜工藝的設(shè)備提供商，我們的目標(biāo)是提供高品質(zhì)的服務(wù)并始終維持高水平的集成度。

NMC-4000 MOVPE設(shè)備概述：

    MOVPE，也就是大名鼎鼎的MOCVD(金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積), 針對(duì)InGaN及AlGaN沉積工藝所研發(fā)的臺(tái)式等離子輔助金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PA-MOCVD),該系統(tǒng)具有加熱的氣體管路、5個(gè)鼓泡裝置(各帶獨(dú)立的冷卻槽)、950度樣品臺(tái)三個(gè)氣體環(huán)、PC全自動(dòng)控制、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、 250l/sec渦輪分子泵及無(wú)油真空泵(5 x 10-7Torr極限真空)，完全的安全互鎖。

    目前，NANO-MASTER(那諾-馬斯特)的這項(xiàng)技術(shù)延伸到5個(gè)4"晶圓的立柜式獨(dú)立批處理系統(tǒng)，該系統(tǒng)可以集成到集群配置中以滿足高產(chǎn)量的要求。

NMC-4000 MOVPE設(shè)備型號(hào)：

• 臺(tái)式系統(tǒng)

• 5個(gè)帶獨(dú)立冷卻槽的起泡器

• 加熱的氣體管路

• 950 °C樣品臺(tái)，2"晶圓片

• 3個(gè)氣體環(huán)

• RF等離子源，帶淋浴頭氣體分布

• 工藝完成后N2自動(dòng)沖洗

• 極限真空5x10^-7Torr

• 250 l/s的渦輪分子泵串接無(wú)油干泵

• 通過(guò)LabView軟件實(shí)現(xiàn)PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制

• 菜單驅(qū)動(dòng)，4級(jí)密碼訪問(wèn)控制

• 完整的安全聯(lián)鎖

  
  

NMC-4000 MOVPE設(shè)備配置：

• 獨(dú)立系統(tǒng)

• 14"不銹鋼立方體腔體

• 1次在8"樣品臺(tái)上處理1個(gè)6"晶圓片或在12"樣品臺(tái)上處理5片4"片子

• 加熱的氣體管路

• RF等離子源，自動(dòng)調(diào)諧

• 淋浴頭氣體分布

• 1100°C的旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)

• N2沖洗

• 手動(dòng)或自動(dòng)的晶圓片上下載

• 可以兼容到集群配置中

  
  

NMC-4000 MOVPE設(shè)備應(yīng)用：

• 3到5族半導(dǎo)體層

• 藍(lán)色發(fā)光二極管

• 激光二極管

• 紫外-可見(jiàn)光譜光電中的氮化銦納米棒

• 3D或2D材料中的二硫化鉬、氮化硼、石墨烯

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